Manfaat etsa kering menggunakan bekalan kuasa berdenyut?

Apakah kelebihan mod nadi ke atas mod kuasa gelombang berterusan? Apakah mod Pulsed vs Mod Kuasa Berterusan?

Seperti yang ditunjukkan dalam angka di atas, yang pertama adalah CW, gelombang berterusan. Gelombang berterusan (CW) merujuk kepada bentuk gelombang yang berterusan dan berterusan dalam masa, dengan kuasa dan intensiti yang berterusan. Ia biasanya muncul sebagai isyarat frekuensi tunggal dengan spektrum sempit dan output yang stabil. Kuasa purata CW adalah sama dengan kuasa puncak, dan ciri -ciri isyarat mudah dan mudah dikawal. Kelebihan utama CW adalah kestabilan yang tinggi, yang menjadikannya sesuai untuk aplikasi di mana kesinambungan isyarat adalah kritikal. Pada masa yang sama, isyarat CW mempunyai tahap bunyi yang rendah, yang memudahkan pengukuran dan analisis yang tepat. Di samping itu, reka bentuk sistem CW agak mudah, dan parameter kawalan seperti kuasa dan kekerapan boleh diselaraskan dengan mudah. Dalam mod CW, output kuasa adalah bentuk gelombang yang berterusan tanpa denyutan yang berliku -liku.

0040-31980 Gas Box EC WXZ

Yang kedua ialah PW, kuasa berdenyut. Gelombang nadi adalah bentuk gelombang yang terganggu dalam masa dan terdiri daripada satu siri isyarat dengan intensiti tinggi dalam tempoh masa yang singkat. Denyutan adalah tempoh terhad dan diulangi selepas tempoh tertentu. Gelombang nadi mempunyai ciri -ciri kuasa puncak seketika jauh lebih tinggi daripada kuasa purata, dan spektrum output luas dan mengandungi lebih banyak komponen kekerapan. Kelebihan terbesar gelombang nadi adalah kuasa puncak yang tinggi, yang dapat melepaskan tenaga yang sangat tinggi dalam masa yang singkat. Di samping itu, disebabkan oleh output terputus isyarat, kuasa purata gelombang nadi adalah rendah, yang berkesan mengurangkan tekanan beban haba peralatan. Akibatnya, ia sesuai untuk aplikasi yang memerlukan resolusi temporal yang tinggi atau kuasa tinggi serta -merta. Dalam mod PW, kuasa output bekalan kuasa adalah sebahagian daripada masa dan pada sebahagian masa.

0040-09095 kotak gas, WCVD
Ciri -ciri bekalan kuasa berdenyut?
1, kerja selang dapat menghilangkan haba pada waktunya, supaya reaktan dapat memiliki masa untuk mengangkut ke permukaan wafer.

2, kuasa output boleh ditingkatkan ke tahap yang sangat besar, tempohnya sangat pendek, dan kuasa nadi, kekerapan, masa, dan lain -lain boleh dikawal dengan tepat.
Faedah menggunakan mod nadi?
1, menghapuskan kesan microload. Dalam etsa struktur dengan nisbah aspek yang tinggi, seperti lubang dalam atau alur dalam. Lubang atau slot bersaiz kecil mempunyai kadar etsa yang lebih kecil daripada lubang atau slot bersaiz yang lebih besar. Jika mod CW digunakan, kesan microload dapat ditingkatkan dengan mengurangkan tekanan dan meningkatkan voltan bias, tetapi keupayaan untuk memperbaiki adalah terhad, sementara kesan microload dapat diperbaiki dengan menggunakan mod nadi.

2, mengurangkan kerosakan permukaan wafer. Jika denyutan digunakan pada bekalan bias, masa yang diperlukan untuk plasma menyerang wafer dapat dikurangkan, yang seterusnya mengurangkan kerosakan permukaan.