Apakah polarisasi kepekatan dalam penyaduran wafer?

Mengambil penyaduran tembaga sebagai contoh, ion logam dalam larutan penyaduran dikurangkan dan disimpan pada katod (wafer), dan persamaan kimia adalah:

Cu(2+) + 2e -->Cu (s)
Oleh kerana kadar pemendapan yang lebih cepat, kepekatan Cu²⁺ berhampiran permukaan wafer berkurangan dengan cepat, manakala kepekatan dalam bidang penyelesaian jauh dari wafer kekal tinggi. Ini mewujudkan "lapisan penyebaran", mengakibatkan penyebaran ion tidak mengekalkan kadar pemendapan → kekurangan ion logam tempatan pada permukaan elektrod → kadar tindak balas elektrokimia yang terhad oleh halaju penyebaran dan bukannya intensiti semasa.

0010-20351 6 Modul lampu degas inci 350c PVD

Dalam satu perkataan: Polarisasi kepekatan merujuk kepada perbezaan yang berpotensi yang disebabkan oleh fenomena "polarisasi kepekatan" pada permukaan elektrod (wafer) disebabkan oleh pengurangan dan pemendapan ion logam yang cepat, dan ion logam segar tidak mempunyai masa untuk menambah permukaan katod (wafer), dan kepekatannya secara beransur -ansur lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepelbagaian yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan yang lebih rendah daripada kepekatan utama daripada kepekatannya.

Mengapa kita perlu cuba mengurangkan polarisasi kepekatan?
Polarisasi kepekatan boleh menyebabkan:
1, kadar pemendapan berkurangan → kecekapan semasa berkurangan, dan arus terbuang pada tindak balas sampingan seperti evolusi hidrogen.

Lapisan itu kasar, pinholes, salutan kelabu dan gelap, dan lain -lain, dan bahan tambahan tidak dapat memainkan peranan mereka.

Dalam satu ayat: sukar bagi wanita yang baik untuk memasak tanpa nasi.
Bagaimana untuk menghapuskan polarisasi kepekatan penyaduran?
1, putar wafer
2, perolakan yang kuat
3, kacau pada kitaran