Apakah Kesan Tekanan Kebuk Terhadap Etching?

Apa ituEkesan daripadaChamberPtekanan padaEgatal?

Bagaimanakah tekanan ruang dikawal? Apakah kesan ke atas hasil goresan?

Apakah Tekanan Kebuk? Tekanan ruang merujuk kepada tekanan gas dalam ruang proses peralatan etsa, biasanya diukur dalam Torr atau Pascal.

o Apakah yang menentukan tekanan ruang?
1. Semakin tinggi aliran gas, semakin besar tekanan.
2. Pam vakum dibuang, dan semakin tinggi kelajuan pam, semakin rendah tekanan ruang.

o Kesan tekanan ruang ke atas etsa
1. Tenaga pengeboman ion. Tekanan rendah, laluan bebas min yang besar bagi molekul, kebarangkalian perlanggaran kecil ion, kurang pelesapan tenaga, tenaga yang begitu tinggi.
2.Nisbah ion kepada radikal bebas. Pada tekanan rendah, perkadaran ion adalah tinggi, yang kondusif untuk etsa fizikal. Pada tekanan tinggi, bahagian radikal bebas yang tinggi menyokong etsa kimia.

Mengukir keseragaman. Pada tekanan tinggi, perlanggaran frekuensi tinggi akan mengurangkan kadar aliran gas, dan radikal bebas akan lebih mudah meresap ke semua bahagian permukaan wafer, termasuk kawasan tepi, dan kepekatan bahan tindak balas yang terdedah kepada keseluruhan permukaan wafer akan menjadi seragam, dan kadar etsa akan cenderung sama.

Ringkasan
0020-24896 CINCIN PENUTUP 6" SST 101 AL

0020-28205 6" DERING TUDUNG TI
Dengan peningkatan tekanan ruang, tindak balas goresan secara beransur-ansur berubah daripada goresan fizikal kepada goresan fizikal + kimia kepada goresan kimia.